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旋片式真空泵的工作原理
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更新時間:2018-01-25
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旋片式真空泵是以泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯而成的。旋片式真空泵選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點,而且同時保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優點。因為旋片式真空泵的結構緊湊、抽速大、占地麵積小,所以可以代替多台機械真空泵,因此旋片泵機組廣泛地用於在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。
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